Zaawansowane filtry IGS z uszczelnieniem typu C do montażu powierzchniowego dla systemów gazowych półprzewodników o ultraczystej czystości
Opis
Filtry HENGKO do montażu powierzchniowego zostały zaprojektowane, aby sprostać wysokim wymaganiom zintegrowanych systemów gazowych stosowanych w narzędziach OEM do produkcji półprzewodników. Oferując wiodącą w branży filtrację na poziomie 0,003 µm, filtry te gwarantują wyjątkową wydajność i niezawodność, a ich skuteczność przechwytywania cząstek wynosi ≥99,9999999% (9-LRV) przy 120 slpm.
Wykonane z wytrzymałej stali nierdzewnej 316L, spiekanej proszkowo na element filtrujący i obudowę, filtry te są zgodne ze specyfikacją SEMI F86-0304 i wyposażone w dwuportowe komponenty dostosowane do systemów dystrybucji gazu 1,125” z konfiguracją uszczelnienia C-Seal. Obsługują maksymalne ciśnienie wlotowe 3,4 MPa przy 100°C i maksymalną różnicę ciśnień roboczych 0,69 MPa przy 100°C.
Te specjalistyczne filtry, kompatybilne ze specyfikacjami uszczelnień typu C i W, zapewniają czystość w dół strumienia dzięki uwalnianiu cząstek
Z wykończeniem powierzchni Ra< 1,6 µm na zewnątrz i Ra< 0,13 µm wewnątrz, są zaprojektowane tak, aby wytrzymać wysokie temperatury do 460°C. Zaprojektowane z myślą o łatwej integracji i modułowej modernizacji konstrukcji, filtry te upraszczają instalację i konserwację, pomagając zoptymalizować wydajność systemu w zastosowaniach związanych z dostarczaniem gazu i sterowaniem półprzewodnikami.
Cechy produktu
▶ Całkowita konstrukcja ze stali nierdzewnej 316L
▶ Miniaturowa konstrukcja, kompaktowa budowa, oszczędność miejsca
▶ Doskonałe właściwości zastępowania i desorpcji gazu
▶ Odporny na wysoką temperaturę, wysokie ciśnienie i korozję
▶ Obudowa ze stali nierdzewnej 316L polerowana elektrolitycznie
▶ Łatwa i wydajna instalacja i konserwacja
▶ Uszczelnienie mechaniczne, konstrukcyjnie niezgrzewane z medium
Arkusz danych
| Parametry techniczne | Wartości |
|---|---|
| Materiał elementu filtrującego | Spiekany proszek ze stali nierdzewnej 316L |
| Materiał obudowy | Stal nierdzewna 316L |
| Maksymalne ciśnienie wlotowe | 3,4 MPa w 100°C |
| Maksymalna różnica robocza | 0,69 MPa w 100°C |
| Weryfikacja współczynnika wycieku helu | 1x10⁻¹¹ cm3/min |
| Test szczelności helu | 1x10⁻⁹ cm3/min |
| Obróbka powierzchni | Powierzchnia zewnętrzna Ra< 1,6 μm |
| Powierzchnia wewnętrzna Ra< 0,13 μm | |
| Maksymalna temperatura pracy | 460°C |
| Efektywność przechwytywania cząstek | ≥99,9999999% (9-LRV) przy 120 slpm (odniesienie MPPS, wszystkie cząstki) |
| Czystość w dół rzeki | Uwalnianie cząstek:< 0,03 cząstek/litr (< 1 cząstka/ft³) |
| Substancje lotne:< 10 ppb wilgoci | |
| Rozmiar przechwytywania cząstek | ≥0,003 μm |
| Zakres przepływu | 0 ~ 120 slpm |
Rozmiar
Oto numer części, którą możesz zamówić i szczegóły dotyczące rozmiaru:
| Model produktu | Przepływ | Wysokość H (mm) | Precyzja filtracji | Poziom czyszczenia |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Typowe zastosowania
Do stosowania z modułowymi systemami dostarczania gazu do montażu powierzchniowego o szerokości 1,125” i 1,5” z uszczelnieniami W-seal i C-seal.
Wyślij nam swoją wiadomość:
