Czujnik temperatury i wilgotności do półprzewodnikowego schematu kontroli wilgotności w pomieszczeniu czystym
Pokaz produktów
TemperaturaorazWilgotność przestrzeni czystej określana jest głównie zgodnie z wymaganiami procesu, ale pod warunkiem spełnienia wymagań procesu należy wziąć pod uwagę poczucie komfortu.Wraz z poprawą wymagań dotyczących czystości powietrza pojawiła się tendencja do zaostrzania wymagań dotyczących temperatury i wilgotności.
Ponieważ dokładność przetwarzania jest coraz lepsza, zakres wahań temperatury jest coraz mniejszy.Na przykład w procesie naświetlania litograficznego produkcji układów scalonych na dużą skalę różnica współczynnika rozszerzalności cieplnej między szkłem a płytką krzemową jako materiałem maski musi być coraz mniejsza.Płytka krzemowa o średnicy 100 um, wzrost temperatury o 1 stopień, spowoduje rozszerzenie liniowe 0,24 um, więc temperatura musi wynosić ± 0,1 stopnia, a jednocześnie wartość wilgotności jest ogólnie niska, ponieważ ludzie się pocą, produkt będzie miał zanieczyszczenie, szczególnie boi się warsztatu półprzewodników sodowych, ten warsztat nie powinien przekraczać 25 stopni.
Wysoka wilgotność powoduje więcej problemów.Gdy wilgotność względna przekroczy 55%, na ściankach rury wody chłodzącej pojawi się rosa, co może spowodować różne wypadki, jeśli zdarzy się to w precyzyjnych urządzeniach lub obwodach.Gdy wilgotność względna wynosi 50%, łatwo rdzewieje.Ponadto, gdy wilgotność jest zbyt wysoka, pył przyklejony do powierzchni krzemowego układu scalonego zostanie chemicznie adsorbowany na powierzchni, aby uniemożliwić jego usunięcie.Im wyższa wilgotność względna, adhezja jest trudna do usunięcia, ale gdy wilgotność względna jest niższa niż 30%, cząsteczki łatwo adsorbują się na powierzchni dzięki działaniu siły elektrostatycznej, a duża liczba urządzeń półprzewodnikowych jest skłonny do załamań.Optymalny zakres temperatur do produkcji wafli to 35-45%.
Dlatego kontrola temperatury i wilgotności jest szczególnie ważna, HENGKO może zapewnić Ci szeregniestandardowe rozwiązania przetwarzania przetworników temperatury i wilgotności!
Czujnik temperatury i wilgotności do półprzewodnikowego schematu kontroli wilgotności w pomieszczeniu czystym
Nie możesz znaleźć produktu odpowiadającego Twoim potrzebom?Skontaktuj się z naszym personelem sprzedażyUsługi dostosowywania OEM/ODM! 
